Назначение и область применения:
Создана оптико-электронная система для измерения высоты и линейных размеров микросборок ПЗС
Технические характеристики:
Диапазон измеряемых линейных величин по координате «Z», мкм
|
1,0 – 1500
|
Используемая длина волны, мкм
|
0,67
|
Геометрические параметры объекта измерения, м
|
0,5 - 0,2
|
База измерения не более, мм
|
30,0
|
Длина перемещения каретки по координате «X», м
|
1,1
|
Длина перемещения каретки по координате «Y», м
|
0,15
|
Погрешность измерения, мкм
|
±0,5
|
Время готовности системы к работе, мин
|
до 5
|
Напряжение и частота питающей сети
|
230±23В; 50±1Гц
|
Защищена патентом РБ
Разработчик: Институт физики имени Б.И.Степанова НАН Беларуси.
|