Оптико-электронная система для измерения высоты и линейных размеров микросборок ПЗС

Назначение и область применения:

Создана оптико-электронная система для измерения высоты и линейных размеров микросборок ПЗС

Технические характеристики:
Диапазон измеряемых линейных величин по координате «Z», мкм 1,0 – 1500
Используемая длина волны, мкм 0,67
Геометрические параметры объекта измерения, м 0,5 - 0,2
База измерения не более, мм 30,0
Длина перемещения каретки по координате «X», м 1,1
Длина перемещения каретки по координате «Y», м 0,15
Погрешность измерения, мкм ±0,5
Время готовности системы к работе, мин до 5
Напряжение и частота питающей сети 230±23В; 50±1Гц
Защищена патентом РБ

Разработчик: Институт физики имени Б.И.Степанова НАН Беларуси.



Последнее обновление 30.06.2010