ЛАБОРАТОРИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ, МЕХАНИКИ И СЕНСОРИКИ

Заведующий лабораторией: докторо технических наук Мухуров Николай Иванович
тел.: (+37517) 2813230

Основные направления исследований:

Вакуумная микро-, наноэлектроника, микро-, наноструктуры, физические и газовые микросенсоры, микрокоммутационные приборы, микроэлектромеханические системы (МЭМС) и микрооптоэлектромеханические системы (МОЭМС), био-нанотехнологии, развитие нанотехнологии, основанной на самоформировании и модифицировании наноструктур из анодного оксида алюминия, модифицирование технологических процессов и материалов с использованием ультразвука и наноалмазов

Развитие и создание интегральных схем (ИС), высокоэффективных дисплеев и СВЧ микроприборов на автоэмиссии для экстремальных условий эксплуатации

Общие принципы функционирования, моделирование и создание МЭМС/МОЭМС различных конструктивных вариантов на электростатическом принципе работы

Прецизионные микроструктуры различного назначения для микроприборов на принципах электролюминесценции, полевой эмиссии и мощных светоизлучающих диодах

Высокоэффективные газовые и датчики механических воздействий, микрочипы экологического мониторинга окружающей среды, микроэлектромеханические, микрооптоэлектромеханические устройства на основе алюмооксидной технологии

Важнейшие результаты:

По результатам теоретических исследований общих закономерностей функционирования электростатических микромеханических систем (ЭМС), выведены обобщенные формулы для их упрощенного инженерного расчета. Это позволяет уже на стадии моделирования и проектирования конкретных конструкций учесть специфику работы и выбрать оптимальный вариант построения. В результате существенно упрощается моделирование. Выявлены общие закономерности рабочего цикла, характеризующие специфику включения и выключения ЭМС. Полученные соотношения связывают основные электромеханические параметры ЭМС и являются теоретической базой для расчетов. Это предоставляет широкие возможности выбора оптимальных размеров подвижных элементов, обеспечивающих требуемое рабочее напряжение при минимальных массо-габаритных показателях и допустимых механических напряжениях в деформируемых частях. Предложены пути расширения функциональных возможностей МЭМС/МОЭМС различных конструктивных исполнений, превосходящих традиционные, а в ряде случаев не имеющих мировых аналогов.

Разработаны тонкопленочные металлооксидные и комбинированный термокаталитический и термокондук-тометрический сенсоры на термо-электрическом эффекте. Позволяет селективно определять концентрацию водорода (0,01-100 об.%) в атмосфере воздуха. Открывается возможность построения на данном принципе селективных сенсоров ряда горючих газов.

Мультисенсорные системы, включающие несколько различного типа сенсоров на одной подложке (бионанотехнологии, медицина, мониторинг окружающей среды, автомобилестроение, микроробототехника, авиационная, ракетная и космическая техника и т.п.).